Le thermomètre à film mince à haute température comprend un thermocouple à couches minces et un détecteur de température de résistance (RTD). Les thermocouples à couches minces peuvent être utilisés à 1 000 ° C, mais les thermocouples dérivent en raison de l'oxydation du germanium dans le film mince. Une couche d'alumine Protecti