Thermomètre à film piézo à haute température

Le thermomètre à film mince à haute température comprend un thermocouple à couches minces et un détecteur de température de résistance (RTD). Les thermocouples à couches minces peuvent être utilisés à 1 000 ° C, mais les thermocouples dérivent en raison de l'oxydation du germanium dans le film mince. Une couche de protection en aluminetransducteur à disque piézopeut être pulvérisé pour réduire l'oxydation du germanium; Thermocouples PT-13 RH / PT à film mince en raison de différentes techniques de traitement, la plage de température de fonctionnement maximale est de 900 ° C ~ 1 200 ° C; Les thermocouples à couches minces de NICR-NIMN sont utilisés pour mesurer la température du guide de turbine à basse pression du moteur à gaz, la température de fonctionnement maximale decristal de disque piézoest 400 ° C;

Les thermocouples sont généralement utilisés pour mesurer les températures transitoires jusqu'à une température de fonctionnement maximale de 800 ° C. Les thermocouples à couches minces de tungstène / thorium nécessitent une couche protectrice à des températures élevées pour un fonctionnement normal et2Disques piézo-piétiques MHz cristalpeut fonctionner à une température de 1370 K sous protection de la couche protectrice; Ni Le thermocouple Ni / Cr à film mince peut être utilisé pour surveiller la température de coupe et peut fonctionner en dessous de 890 K. Ni / Cr et les thermocouples en alliage en alliage Ni-Al peuvent surveiller la température du processus de fabrication et sont utilisés à température ambiante à 600 ° C; Thermocouples pt / pd à couches minces decapteur de plaque piézoélectriquesont utilisés pour surveiller la température du traitement thermique des tranches de silicium et peuvent survivre à 850 ° C pendant 10-20 h. En tant que céramique d'oxyde, le matériau en céramique ITO a des caractéristiques de résistance à haute température, de résistance à l'oxydation et de film en céramique ITO composé de différents matériaux d'électrode.