Transducteur ultrasonique à couches minces à haute température

Une large gamme de couches minces à haute températuretransducteur à ultrasonssont présenté. Les jauges de contrainte à couches minces à haute température et les jauges de contrainte à couches minces à haute température sont utilisées pour les films minces alliés duo aux matériaux sensibles à un stade précoce. En raison des différentes caractéristiques des matériaux et des processus de fabrication detransducteur à distance à ultrasons, les jauges de contrainte à couches minces sont fabriquées par différents alliages. Ce qui peut résister à la température varie considérablement. Par exemple, les gages de déformation à couches minces de l'alliage NICR peuvent résister à des températures de test de 600 ° C; Les jauges de contrainte à film mince en alliage PDCR peuvent atteindre une température de fonctionnement maximale du capteur de distance à ultrasons.

Après optimisation des paramètres de processus, ils peuvent être utilisés à une température de 1 100 ° C; Les gages de déformation à couches minces Ni-CRALY peuvent résister à des températures allant jusqu'à 800 ° C. Les matériaux en céramique piézo peuvent résister à des températures plus élevées que les alliages à l'heure actuelle, les jauges de souches en céramique piézo comprennent des types ITO (oxyde d'étain indium) et Tan 2. Les jauges de contrainte à film mince ito peuvent fonctionner à température ambiante deFiche technique du capteur de plage à ultrasons, mais le niveau de déformation et la température ont un effet important sur le coefficient de variation, qui est principalement causé par la diffusion de l'oxygène dans le film ITO. Les jauges de contrainte à couches minces de bronzage peuvent résister à des températures jusqu'à 400 ° C. Les paramètres de processus ont une grande influence sur la microstructure du capteur de plage ultrasonique des films minces. Le coefficient de température TCR de résistance des céramiques et des alliages piézo-piétiques est opposé les uns aux autres et peut s'annuler.

À l'heure actuelle, les jauges à souches à couches minces multicouches sont faites de céramiques piézores et des alliages ont été produits. Le bronzage est instable dans l'air supérieur à 500 ° C, de sorte que la température d'utilisation des jauges de contrainte multicouche Tan / PDCR ne dépasse pas 500 ° C. Le titanate de strontium de baryum est utilisé comme milieu sensible du capteur de mesure de distance ultrasonique capacitif, et l'électrode PDCR comme la gage de déformation en film mince à haute température adopte une structure interdigitée plate et peut supporter une température élevée de 500 ° C.