Les films piézoélectriques sont largement utilisés en raison de leur excellente performance. Des films épais piézoélectriques peuvent être utilisés pour fabriquer une variété de micro-appareils, tels que des micropumes, des moteurs à ultrasons, des résonateurs, des capteurs de film épais pyroélectriques, des actionneurs de film épais, des micro-micro-énergies, etc. 1. Hydrophy