Capteur de débitmètre thermique à film mince à haute température

Les débitmètres à couches minces à haute température se composent généralement d'une couche de résistance thermique et d'une couche de thermomètre à film mince. La couche de résistance thermique deTransducteur des disques piézosUtilise généralement du matériau PZT avec une petite conductivité thermique afin que les thermomètres sont des deux côtés peuvent obtenir une grande différence de température, obtenant ainsi un signal plus fort et une sensibilité plus élevée. La couche de thermomètre à film mince est généralement un thermocouple à couches minces ou un transducteur de température de résistance. Le polyimide a une résistance thermique élevée et de bonnes propriétés mécaniques. Le débitmètre thermique à film mince comme couche de résistance thermique peut être utilisé en dessous de 400 ° C. Silicecapteur d'effet piézoélectriquea une faible conductivité thermique et de bonnes propriétés mécaniques. Par conséquent, comme le matériau de la couche de résistance thermique de la plupart des débitmètres thermiques à film mince à haute température, ce débitmètre thermique peut être utilisé à la température de 900 ° C. Les débitmètres de film mince à haute température peuvent utiliser des matériaux en céramique précurseurs sous forme de RTD et de couches de résistance thermique. Les céramiques piézores précurseurs ont un débit thermique à haute température pour l'environnement aérodynamique ont été fabriqués avec un péché de 250 μm dans la couche de barrière thermique moyenne. Le débitmètre thermique peut être utilisé à des températures autour de 1 400 ° C.

Les capteurs multi-fonctionnalités intégrés à couches minces sont intégrés à une souche à couches minces à haute températuretransducteur de tube piézoélectrique, thermomètres et débitmètres thermiques. C'est difficile car les trois capteurs ont des principes de détection différents, des structures différentes et des tailles différentes. Un capteur multifonctionnel intégré à couches minces a été conçu pour mesurer simultanément la déformation, la température et le flux de chaleur, où la gage de déformation PT mesure PT-13RH / PT. Le thermocouple mesure la température, 2 couches d'épaisseur différente de la couche de résistance thermique en alumine et 40 paires de flux thermique de type thermopile est composé d'un thermocouple de -13rh / pt. qui mesure le flux de chaleur. Afin de briser la température de travail des matériaux en alliage, la NASA a développé davantage un capteur à couches minces intégrés multifonctionnement pour les matériaux en céramique piézo-tan.

Lacapteur de plaque piézoélectriqueUtilise un processus de décollage pour modéliser un facteur de déformation de 3,9, TCR de -93 × 10-6 ℃ -1, résistivité de 259 μΩcm, une sensibilité de déformation apparente de -24 × 10-6 ℃ -1. Le TCR des matériaux et alliages en céramique piézo est négatif, la NASA a développé des capteurs multifonctionnels à température à haute température pour la céramique PIEZO. CesTransducteur des anneaux piézoélectriquesInclure des jauges de contrainte à couches minces à haute température, des thermocouples à couches minces à haute température et des débitmètres thermiques à couches minces à haute température. Le TCR de PD-13CR est positif. Les deux ensemble constituent une couche fonctionnelle qui rend le TCR positif et compenser négatif une partie,Materifères piézoélectriques Transduce de tube piézorréduit le TCR global, augmentant ainsi la sensibilité. Le capteur multifonctionnel à couches minces a des problèmes de l'écaillage et de la diffusion, les problèmes de compatibilité du processus de pelage et les problèmes d'expansion à haute température.