Système de matériau de la cérate à la grande tempore en céramique

Les débitmètres thermiques à couches minces à haute température sont généralement constitués d'une résistance thermiqueTransducteur Piezo 400KHzet une couche de thermomètre. La conductivité thermique de deux types de matériaux de résistance thermique avec différentes épaisseurs, l'épaisseur d'une couche piézo-pié est de 1 mm et l'épaisseur de l'autre couche est de 2 mm. Lorsqu'il y a un flux de chaleur, les températures sont générées sous la couche de résistance thermique sont respectivement T1 et T2. Les coefficients de dilatation thermique duMatériau piézoélectrique 1 MHzsont différents. Pendant le processus de chauffage ou de refroidissement, une contrainte thermique peut être générée, de sorte que les couches de différents matériaux piézores se fissurent. Le matériau sensible peut s'oxyder et se fracturer, et donc le capteur de film mince peut échouer. Les jauges de contrainte à haute température doivent être étirées fréquemment. Étant donné que les résistances en traction des matériaux en différentes couches sont différentes, la concentration de contrainte et les fissures peuvent se produire entre lecapteur d'effet piézoélectriquePendant le fonctionnement, et enfin les jauges de contrainte produiront des erreurs de mesure et échoueront même. Lorsqu'il conçoit un capteur à couches minces, il est nécessaire de considérer le coefficient d'expansion thermique entre les couches de matériaux, même le module d'élasticité, de sorte que les paramètres des couches piézo-piéneuses adjacentes sont aussi proches que possible, réduisant ainsi le Déliachance thermique et contrainte de traction.