Principe de fonctionnement du capteur piézoélectrique

Principe de fonctionnement du capteur piézoélectrique

Les principales méthodes de préparation de la céramique piézoélectrique comprennent la méthode du sol-gel, la méthode hydrothermale, la méthode du sel fondu,disque électrique piézoLa technologie du film épais, la céramique piézotique possède une technologie d'orientation des céréales et la technologie de frittage du plasma décharge. Cependant, la poudre obtenue ne peut pas être appliquée à la surveillance des pièces compliquées en raison de divers inconvénients, et le film préparé est trop mince pour être largement utilisé pourtransducteur de soudage à ultrasons.Le revêtement de l'élément du disque piézo est plus épais que le film et est mieux en mesure d'effectuer une surveillance en ligne de la surface de la partie complexe, présentant de meilleures performances que la couche piézocéramique frittée.

Le spray plasma peut produire des revêtements d'épaisseur de millimètres sur différents substrats. La pulvérisation du plasma en céramique piézoélectrique est une méthode dans laquelle une poudre de céramique piézoélectrique est introduite dans un jet de plasma et chauffé, accéléré et transducteur de cylindre piézo est pulvérisé sur un substrat pour former un revêtement. En raison de la température du centre de la flamme élevée du spray plasma, il peut faire fondre de nombreux matériaux réfractaires. Par conséquent, particulièrement adapté à la préparation des revêtements en céramique piézo. Il est considéré que les défauts communs des revêtements en céramique piézoélectrique, tels que une porosité élevée etsphère en céramique piézoLes composants peuvent être résolus en optimisant les paramètres de processus.

Grâce à l'optimisation et à l'amélioration du processus d'origine, la céramique PZT Piezo a été préparée avec succès par la technologie de pulvérisation du plasma et ses performances piézoélectriques ont été améliorées. Le revêtement PZT en céramique haute performance préparé par la pulvérisation du plasma a attiré beaucoup d'intérêt des chercheurs à la fois au pays et à l'étranger, et a mené un grand nombre d'études approfondies pourtransducteur de nettoyage à ultrasons. Les revêtements BATIO3 et (BA, SR) TiO3 préparés par pulvérisation de flammes ont de bonnes propriétés mécaniques et piézoélectriques; Les revêtements Batio3 préparés par la technologie de pulvérisation du plasma sont des revêtements de phase tétragonale incomplètement cristallins avec une microstructure lamellaire. Bien qu'il ait des fissures ou des pores, il a toujours une bonne piézoélectricité.