Bien que l'huile isolante remplie soit la surface du PZTQuartz à plaque piézo ultrasoniqueet le pore a été retiré après extraction, l'hydrophobe est une composante d'huile isolante adhérée à la surface et au pore, et l'angle de contact dePick-up Piezo Transducteurn'a pas diminué de manière significative. À mesure que le temps de gravure du plasma augmente, l'hydrophilie de la membrane en céramique piézo augmente,Fabrication de céramique piézoindique que le nombre de groupes hydrophobes est attaché à la surface de la membrane céramique piézo diminue progressivement. Lorsque le temps de gravure est de 4 min, l'hydrophilie ducapteur de pression piézoélectriqueest essentiellement restauré et l'angle de contact est de 16 °. Parce que la gravure du plasma ne peut gérer que les groupes de surface de la membrane, les groupes hydrophobes dePZT MATÉRIEL CRISTALprésents dans les pores empêchent les gouttelettes d'eau d'infiltrer les pores. La masse de la membrane en céramique PZT obtenue est à 4 min après un capteur de contrainte de matériau PZT non polarisé, l'amplitude résonnante à 20 V AC, et la perméabilité de l'eau pure sont à 0,05 MPa étaient similaires à celles de ceux de ceux Résultats de la mesure du taux de perméation d'azote. Résultat de la membrane céramique PZT PZT après extraction d'éthanol, puis de gravure du plasma 4 min après que la perméabilité de l'azote peut être rétablie, la perméabilité en eau pure retournée à MPA-1, le signal de résonance des transducteurs piézoélectriques coniques est de 34,8 mV. Les courbes de résonance de la céramique PZT après polarisation et extraction sont données. Le fil en céramique PZT PZT PZT PZT Le signal de résonance de la membrane est de 34,8 mV, légèrement inférieur à celui de la membrane céramique PZT après la polarisation, qui est causée par la dissipation de l'espace de l'onde ultrasonique générée par la vibration dans les pores du poreux extrait PZT Membrane en céramique. La perte ultrasonique dans la membrane en céramique PZT poreuse peut être compensée en augmentant la tension CA à travers la membrane céramique PZT.
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