Les matériaux sensibles sont les composants centraux des capteurs à couches minces à haute température. Leur stabilité chimique et électrique a une grande influence surSenso vibration des anneaux piézoélectriquesrQue les capteurs à film mince peuvent être utilisés dans des environnements difficiles. Les types de matériaux sensibles, la microstructure du matériau sensible ont une propre structure cristalline et les propriétés des porteurs libres sont effectués la sensibilité au coefficient du capteur de film mince fabriqué. En général, la jauge de souche en alliage a le facteur de jauge le plus bas, suivi d'une jauge de déformation en film mince en matériau en céramique piézoTransducteur de disque en céramique piézoélectriqueest une jauge de contrainte à couches minces semi-conductrice.
cosensibilité efficace
Le coefficient de déformation plus élevé de la température élevée a une jauge de déformation en film mince, le coefficient plus élevé de la température élevéeCapteur piézoélectrique du matériau PZTest un thermocouple à couches minces, et le coefficient de résistance à la température plus élevé est le RTD à couches minces, plus la sensibilité et plus le signal de mesure est facile, mais la sensibilité du capteur de film mince à haute température est composée de différents matériaux piézo . Les jauges de contrainte à couche mince à haute température sont faites d'alliages à haute température ont généralement un coefficient de déformation de 1 à 3, tandis que les jauges de contrainte ordinaires de la céramique piézo Celles des jauges de déformation dopées à semi-conductrices (100 à 200). Ce qui n'est toujours pas assez élevé. Le coefficient d'un thermocouple à couches minces est fait d'un alliage bas, le coefficient de Seebeck d'un thermocouple à couches minces est en céramique piézo-piétique est légèrement élevé.
PErformance de température élevée
Les matériaux sensibles ont la tâche de générer des signaux et peuvent tolérer des températures limitées. Lorsque la température dépasse une certaine température deTransduce en céramique piézoélectrique ultrasoniquer, le changement de phase ou même la fissuration du matériau piézo sensible se produit, ce qui affecte les performances électriques et mène finalement à la défaillance du capteur de film mince. À l'heure actuelle, l'alliage peut résister à des températures de 1 100 ° C, et la céramique piézotique peut résister à des températures de 1 500 ° C. Dans les applications à haute température (telles que les zones à température élevée des aérogéniques), la température a dépassé 1700 ° C. De nos jours, les capteurs à couches minces à haute température ne peuvent plus résister à sélectionner les matériaux et les processus piézo-piérants plus résistants aux températures élevées et peuvent résister à un capteur de températures plus élevé.
MâleProcessus de fabrication de matériaux piézores sensibles
Capteurs en céramique piézoélectriquesont des matériaux sensibles et ont les caractéristiques d'une résistance à haute température et d'une résistance à l'oxydation. L'état initial est liquide. Après un durcissement léger ou une thermodhèse à une température d'environ 90 ° C à environ 100 ° C, la température est d'environ 300 ° C à 600 ° C. La réticulation est réalisée et la céramique piézo-piétique précurseur est finalement pyrolysée à une température d'environ 1 000 ° C. La piézocéramique précurseur fonctionne de manière stable à des températures supérieures à 1 400 ° C mais rétrécissera pendant la réticulation et la pyrolyse, diminuant généralement d'environ 30%. L'ajout de charges peut réduire le retrait. Il existe des processus matures pour fabriquer des parties du corps à l'aide du capteur de vibration du disque piézoélectrique précurseur, mais il y a peu de rapports sur leurs processus de structuration à couches minces. Il n'y a aucun rapport sur le processus de structuration des films minces PDC sur les alliages de base de nickel. Par conséquent, l'utilisation de céramiques piézores pour la fabrication est des capteurs à couches minces à haute température nécessite la résolution du retrait. Ce sont des problèmes et des problèmes de processus de modération. Le choix du bon matériau peut améliorer le coefficient de sensibilité du capteur de film mince à haute température. Le coefficient de sensibilité du capteur de film mince à haute température peut également être amélioré en modifiant la composition du matériau sensible en dopant des matériaux sensibles multicouches.
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