Étude sur le processus de broyage et de polissage du substrat en céramique de l'alumine piézo

Avec le développement rapide de la technologie optoélectronique et de la technologie microélectronique, elle est de plus en plus urgente pour l'électroniquecéramique piézanteà utiliser dans un environnement sévère, y compris une température élevée, une humidité élevée, une résistance électrique, une intensité de rayonnement élevée. Comme les matériaux couramment utilisés dans la céramique électronique, la céramique Alzo} a de nombreuses caractéristiques excellentes, comme une résistance à haute température, une résistance à la corrosion, une résistance mécanique élevée, une dureté élevée, des performances d'isolation électrique élevées et une faible perte diélectrique, etc. La céramique A1Z03 a reçu une large attention et des recherches avec une large perspective d'application dans les aspects de l'électronique de machines, de l'énergie électronique, de la médecine biologique et de l'amation. La technologie de fabrication de matériaux en céramique A1Z03 comprend principalement la préparation de la technologie du substrat en céramique et la surface du substrat céramique de la technologie de coupe et de traitement. Les deux parties sont essentielles pour la formation et l'utilisation du substrat, dans lesquelles la surface de la technologie de traitement du substrat est le fondement et la garantie de la production de composants électroniques. En raison de la dureté élevée et de la fragilité, des fissures faciles à produire, difficiles à surface, il est difficile pour le substrat de la céramique Aizo} de garantir la qualité et l'intégrité de la surface et du sous-sol. Et le processus de surface du matériau en céramique piézoélectrique A1Z03 nécessite non seulement une précision de grande dimension et de forme, une rugosité de surface basse bonne intégrité de surface, mais nécessite également une surface ultra lisse sans défauts et endommager FC l'application du substrat céramique A1Z03. Par conséquent, pour la technologie de préparation des matériaux du substrat, il est de la tendance clé et de développement à réaliser une surface ultra lisse et plate du substrat en céramique A1Z03.

L'impact des paramètres de traitement sur l'amincissement efficace et le polissage super lisse de A1Z03transducteur de tube piézocéramiqueLe substrat a été étudié systématiquement dans cet article. L'expérience systématique du substrat en céramique A1Z03 a été réalisée, en utilisant l'équipement de broyage et de polissage à un seul côté et double côté. et la concentration de liquide de broyage abrasif sur l'amincissement efficace du substrat en céramique A1Z03 ont été analysées et les paramètres du processus ont été optimisés. Dans l'état des mêmes paramètres de processus, les effets du polissage monopardent et double face sur l'efficacité de polissage et la rugosité de surface du substrat céramique Aizo} ont été étudiés comparativement. Les résultats des tests montrent que la méthode de traitement et de traitement de polissage à un seul côté peut obtenir plusTransducteur piézocéramique du matériau PZTEfficacité d'élimination et meilleure surface.